具有延伸的静电卡盘电极的高温基座.pdfVIP

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2023-06-24 发布于四川
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具有延伸的静电卡盘电极的高温基座.pdf

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一种被配置成支撑具有直径D的衬底的衬底支撑件包含：第一内部电极和第二内部电极，其各自都是D形，限定了小于D的第一外径，且被配置成连接至静电卡盘电压，以将所述衬底夹持至所述衬底支撑件上。外部电极包含围绕所述第一内部电极和所述第二内部电极的环形外部，以及通过所述第一内部电极和所述第二内部电极之间以连接至所述环形外部的内径的相对侧的中心部。所述环形外部的所述内径大于所述直径D，使得所述环形外部的所述内径以及所述中心部和所述环形外部两者之间的交叉点位于所述衬底的所述直径D的径向外侧。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116325073 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202180067137.7 大卫 ·弗伦奇　文森特 ·布克哈特　 (22)申请日 2021.09.