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本发明属于低温等离子体薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种网孔式多栅离子束引出装置，包括：网格栅、屏栅、加速栅、地栅、绝缘子A、绝缘子B、加速栅电源和屏栅电源；所述网格栅固定于屏栅的一侧面，加速栅通过绝缘子A固定于屏栅的另一侧面；所述加速栅未设置绝缘子A的端面上设置有绝缘子B，所述绝缘子B上安装有地栅；加速栅电源的正极接地，加速栅电源的负极与加速栅连接；屏栅电源的正极接地，屏栅电源的负极与屏栅连接。本发明通过控制与等离子体接触的网栅结构，控制离子束发射面，实现高导流率、低发散角的低能离子束产生。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116321650 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202211673943.1
(22)申请日 2022.12.26
(71)申请人 核工业西南物理研究院
地址 61
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