一种GaSb基外延膜电学性能的测试方法.pdfVIP

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2023-06-24 发布于四川
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一种GaSb基外延膜电学性能的测试方法.pdf

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本发明提出了一种GaSb基外延膜电学性能的测试方法，包括：S10，在GaSb衬底生长薄膜层后，在薄膜层上生长高掺层，获得测试样品；S20，将测试样品划片制样得到待测样品；S30，配置电解液，并将电解液装入电化学测试系统；S40，开启电化学测试系统，并进行配置设置；S50，对待测样品的两个电极加电压，获得测试曲线，选择测试参数，并输入预设测试配置值；S60，开始测试，电解液不断对待测样品进行腐蚀，通过实时测得的电压‑电容值计算得到对应位置的载流子类型和载流子浓度。采用以上方法可准确测试GaSb衬底

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116297774 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211579701.6 (22)申请日 2022.12.09 (71)申请人中国电子科技集团公司第十一研究