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用于转移膜的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-24 发布于四川
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用于转移膜的方法.pdf

    本发明涉及一种用于生产器件(10)的方法，该器件包括悬于至少一个空腔(11)上方的压电膜(14)，该方法包括：a)提供支撑衬底(1)，该支撑衬底配备有在该支撑衬底的正面(12)上开口的空腔(11)，所述空腔(11)具有大于30μm的横向尺寸；b)提供供体衬底(2)，该供体衬底(2)配备有界定表面层(22)的、位于表面下方的弱化平面(20)；c)在供体衬底(2)的正面(21)上沉积加强层(13)，该加强层(13)由厚度(e)大于500纳米的压电材料制成；d)组装支撑衬底(1)和供体衬底(2)；e)

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116323471 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202180069274.4 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限

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