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蒸气输送设备.pdfVIP

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  • 2023-06-24 发布于四川
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蒸气输送设备.pdf

    一种用于衬底处理系统中的处理室的蒸发器组件包含：储存罐，其被设置成储存并加热前体液体；以及蒸发器阀块，其被安装于所述储存罐上。所述蒸发器阀块包括：本体；多个阀，其安装于所述本体上；载气入口，其与所述储存罐流体连通；前体液体入口，其与所述储存罐流体连通；蒸气端口，其与所述储存罐流体连通，以及蒸气出口，其与所述处理室流体连通。所述多个阀中的每一个与包含在所述蒸发器阀块内的相应流动路径流体连通。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116324026 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202180069305.6 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263

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