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具有多阶段旋转调制交叉流的等离子体腔室.pdfVIP

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  • 2023-06-24 发布于四川
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具有多阶段旋转调制交叉流的等离子体腔室.pdf

    本文公开的实施方式包括一种等离子体加工腔室，所述等离子体加工腔室包括一或多个侧壁。一或多个侧壁内的支撑表面保持工件。沿着一或多个侧壁的第一气体注入器在大致平行于工件表面并且跨过工件表面的第一方向中注入第一气流。沿着与第一气体注入器大致相对的一或多个侧壁的第一泵端口泵送出第一气流。沿着一或多个侧壁的第二气体注入器在大致平行于工件表面并且跨过工件表面的第二方向中注入第二气流。沿着与第二气体注入器大致相对的一或多个侧壁的第二泵端口泵送出第二气流。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116325072 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202180063672.5 卡提克 ·雷马斯瓦米　

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