一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路.pdfVIP

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2023-06-24 发布于四川
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一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路.pdf

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本发明涉及集成电路设计领域，尤其涉及一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路。本发明使用nbitDAC采样量化高频激励信号后得到更小幅值的激励信号施加到单位补偿电容上，可以等效形成1/2n倍的单位补偿电容，从而能够在相同工艺下更加精细化地补偿加速度计敏感单元的零偏；在更高的零偏补偿精度相同的情况下，采用该种方法相比于采用直接级联物理电容的方法的面积更小，且该方法不受物理电容的工艺大小和失配的限制，理论能达到的补偿精度远远大于直接级联物理电容。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116298391 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211598460.X (22)申请日 2022.12.12 (71)申请人大连理工大学地址 116024