主端口及利用其的基板处理装置.pdfVIP

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2023-06-24 发布于四川
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主端口及利用其的基板处理装置.pdf

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本发明涉及一种主端口及利用其的基板处理装置。本发明提供一种主端口，设置于基板处理装置而临时支承用于向基板喷出工艺液的喷嘴，其中，所述主端口包括：主体，在内部形成有空间；喷嘴架部，布置于所述主体的上部并用于支承所述喷嘴；倾斜面，形成在所述空间中的所述喷嘴架部的下侧；第一供应管，用于从所述喷嘴的头喷出冲洗液；第二供应管，向所述主体内部注入冲洗液；导电线，将所述倾斜面和所述第一供应管电连接；以及第一开关，设置于所述导电线。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116313889 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211617636.1 (22)申请日 2022.12.15 (30)优先权数据 10-2021-0182756