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本发明涉及等离子喷涂技术领域，且公开了一种等离子喷涂与薄膜沉积的复合涂层的工艺，以CoNiCrSAlY合金、纳米MoSi2和纳米Al2O3，通过球磨法制成喷涂喂料，然后采用等离子喷涂与薄膜沉积的工艺，并对工艺进行调整优化，在钛合金表面形成高维氏硬度和高粘结强度的薄膜涂层，经过等离子喷涂与薄膜沉积工艺后，涂层的维氏硬度最高达到1630Hv，粘结强度最高达到52.4MPa，热震循环数最大为340次。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288111 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310127726.0
(22)申请日 2023.02.17
(71)申请人 沈阳富创精密设备
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