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本发明涉及一种激光直写光源和激光直写装置，包括控制器、激光器组、单模光纤组以及光学端口，所述激光器组包括多个激光器且所有所述激光器均电连接至所述控制器，所述单模光纤组包括与所述激光器数量相同的单模光纤，所述单模光纤的一端连接至对应的所述激光器，所述单模光纤的另一端连接至所述光学端口。激光器组通过单模光纤组在光学端口处形成了激光点阵。控制器对每个激光器分别控制能量大小和通断，由此控制光学端口中激光点阵的形状和各个激光点的能量大小，从而更加方便地进行激光直写。各个激光点是由各个激光器独立产生，激光点
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116300328 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310063548.X
(22)申请日 2023.01.13
(71)申请人 之江实验室
地址 311121
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