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本公开提供一种真空防污膜制备装置，包括药液系统、加热装置、旋转机构及滑动伸缩装置，药液系统与加热装置连接，用于将药液输送到加热装置上，加热装置通过旋转机构带动进行上下反复移动，形成活动蒸发区域，能够满足3D异形或者大尺寸镀膜需求，滑动伸缩装置连接控制加热装置，以实现所述加热装置的水平移动，同时，提供对应的装置系统及制备方法，本申请的真空防污膜制备装置通过上下循环反复移动，形成活动蒸发区域，可以有效增加坩埚蒸发膜层的覆盖范围，相比固定位置的覆盖范围有明显提升；同时坩埚的90°翻转，使其正面口朝向待
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288167 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310063732.4 G02B 1/18 (2015.01)
(22)申请日 2023.01.1
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