DB13_T5631-2022电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范.pdfVIP

ICS 81.040.30 CCS L 90 13 河 北 省 地 方 标 准 DB 13/T 5631—2022 电子专用材料单晶硅生长用 石英坩埚生产技术规范 DB 13/T 5631—2022 电子专用材料单晶硅生长用 石英坩埚生产技术规范 1 范围 本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、 工艺过程、环境要求和管理要求。 本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通