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- 2023-06-25 发布于四川
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本发明属于行波管加工技术领域，具体提供了一种衰减器加工方法及设备，包括外壳、供气组件、加热机构、夹持机构，外壳内部形成真空腔室；供气组件能够向真空腔室供给正庚烷气体；加热机构设于真空腔室中，加热机构能够向外辐射热量；夹持机构能够定位夹持杆，以使得夹持杆沿第一方向延伸并靠近加热面，进而使得夹持杆能够承接从加热机构辐射处的热量；加热机构具有楔形导热板，楔形导热板的外侧面形成加热面，楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化，以调节夹持杆任意位置与加热面的距离，进而调节夹持杆不同位置的温度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288240 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310230607.8 C23C 16/46 (2006.01)
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