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- 2023-06-25 发布于四川
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本发明公开了一种宽量程的薄膜真空计，包括壳体，所述壳体内设置检测电极，所述检测电极将壳体内部分为检测腔室和真空腔室，所述检测腔室连接进气管，所述真空腔室连接抽气管；所述真空腔室内设置压阻元件，所述压阻元件与所述检测电极相对平行设置，所述压阻元件上与检测电极相对的一面镀设有固定电极，所述压阻元件上集成有四个等值电阻，并联接为惠斯通电桥；所述固定电极和惠斯通电桥分别通过引出线引出真空腔室，并连接外部测试电路。本发明所公开的薄膜真空计能够实现中低真空范围内的测量，保留真空计在中真空范围内的高灵敏度，并
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116296052 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310228013.3
(22)申请日 2023.03.10
(71)申请人 山东大学
地址 266200
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