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本发明提供了一种高灵敏的单分子显微成像方法及系统，旨在解决现有技术中对于对于蛋白质等单分子的检测灵敏度较低的问题。一种高灵敏的单分子显微成像方法，包括：入射光通过支持长传播距离平面表面等离激元的成像芯片后，发生样品对表面等离激元的平面内散射，且平面内散射光通过成像芯片反向耦合出射至平面外，图像传感器采集出射的平面内散射光和反射光形成的原始干涉图像；将样品散射光积分成样品信号亮点，获得带有信号亮点的点状分布图。本发明中，通过支持长传播距离平面表面等离激元的成像芯片，可以减少样品散射光的能量衰减，从
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116297334 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310063367.7
(22)申请日 2023.01.22
(71)申请人 清华大学
地址 100089
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