压电驱动-感知集成的六维柔性并联细胞微力传感器.pdfVIP

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  • 2023-06-25 发布于四川
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压电驱动-感知集成的六维柔性并联细胞微力传感器.pdf

本发明公开了一种压电驱动‑感知集成的六维柔性并联细胞微力传感器,包括自上往下依次设置的探针、上盖板、柔性并联弹性体、电路板和下盖板,探针与柔性并联弹性体相连,电路板、柔性并联弹性体和上盖板均与下盖板固定连接;柔性并联弹性体自上而下依次包含第一平台、柔性梁和第二平台,柔性梁两侧分别设有PVDF薄膜和MFC薄膜;电路板内部集成有主控电路、用于将PVDF薄膜感知到的电荷信号转换为电压信号的感知层电路、用于将主控电路产生的弱电压信号进行放大来驱动MFC薄膜的驱动层电路和收发电路。本发明采用MFC薄膜作为

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116296028 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310256947.8 (22)申请日 2023.03.16 (71)申请人 南京信息工程大学 地址 2100

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