一种高通量光纤点阵成像直写系统.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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一种高通量光纤点阵成像直写系统.pdf

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本发明公开了一种高通量光纤点阵成像直写系统，包括：光源、光纤调制器、光纤阵、准直镜、管镜一、管镜二、直写物镜、高精度位移台、控制单元；光源、光纤阵、准直镜、管镜一、管镜二、直写物镜依次同光轴布置，光纤阵中每一根单模光纤均配有光纤调制器；准直镜的后焦面和管镜一的前焦面重合，管镜一的准直端朝向准直镜，管镜二的准直端朝向直写物镜，管镜一和管镜二的成像面重合，管镜二的前焦面和直写物镜的入瞳重合，直写物镜的焦面与高精度位移台的上表面重合；控制单元用于控制光纤调制器和高精度位移台，实现设定图案的直写。本发明

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116300332 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310136507.9 (22)申请日 2023.02.20 (71)申请人之江实验室地址 311121