1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种全自动涂胶机.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.43万字
  • 约 18页
  • 2023-06-25 发布于四川
  • 举报

一种全自动涂胶机.pdf

    本发明涉及一种全自动涂胶机，包括旋升装置、安装在旋升装置上的移料装置、位于旋升装置周围的定位装置、涂胶装置、加热装置和冷却装置、分别安装在加热装置和冷却装置上的辅助上下料装置以及安装在涂胶装置上的涂胶上下料装置，其中，定位装置用于放置花篮，旋升装置和移料装置用于带动晶圆在定位装置、涂胶装置、加热装置和冷却装置之间移动，辅助上下料装置用于加热装置和冷却装置的上下料，涂胶上下料装置用于涂胶装置的上下料。该全自动涂胶机整体结构紧凑、体积小，由于采用旋转的方式实现晶圆在不同工位的切换，极大地缩短了转运时

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116273741 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310256949.7 (22)申请日 2023.03.16 (71)申请人 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >