一种激光冲击优化TMDs等离激元光电晶体管性能的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-25 发布于四川
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一种激光冲击优化TMDs等离激元光电晶体管性能的方法.pdf

本申请公开了一种激光冲击优化TMDs等离激元光电晶体管性能的方法。该方法包括:提供复合纳米结构层,复合纳米结构层包括二层金属纳米颗粒层和叠设于二层金属纳米颗粒之间的TMDs层;使用脉冲激光冲击对复合纳米结构层进行处理;对经过激光冲击的复合纳米结构层上形成金属电极,得到光电晶体管,并对光电晶体管性能进行测试。本技术方案中,通过采用上述激光冲击优化TMDs等离激元光电晶体管性能的方法,可以使得TMDs和金属纳米颗粒发生协同变形,减少纳米颗粒间隙,使得“间隙模式”LSPR的局域场增强效果进一步提升,并

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116314455 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310242591.2 (22)申请日 2023.03.09 (71)申请人 武汉大学 地址 430072

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