一种多晶半导体晶棒生产热熔装置.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种多晶半导体晶棒生产热熔装置.pdf

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本发明公开了一种多晶半导体晶棒生产热熔装置，涉及晶棒生产装置领域，包括处理箱，所述处理箱的内部安装有加热器。本发明所述的一种多晶半导体晶棒生产热熔装置，通过设置内坩埚、外坩埚和孔槽，将需要的原料放置在外坩埚和内坩埚之间，由于外坩埚的底部设置为类似球状，因此当原料放置在外坩埚的内部时，原料就会因为重力的原因全部堆积在外坩埚的底部，此时就能够启动加热器，加热器就能够将固体的原料变成液体的原料，液体原料不断的上升，就会慢慢穿过内坩埚的底部，同时就能够进行晶棒的拉伸工作，此时内部的原料减少，就能够同时向

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288704 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310501788.3 (22)申请日 2023.05.06 (71)申请人无锡珂特芯科技有限公司地址 2