无存储模块的湿度传感器芯片.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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本发明揭示了一种无存储模块的湿度传感器芯片，该湿度传感器芯片包括湿度敏感模块、测量电路模块、微处理单元MCU；湿度敏感模块包括湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极；湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极构成三电极结构的湿度敏感型电容‑‑电阻复合结构；第一电极、湿度敏感材料、第二电极构成湿度敏感电阻（湿敏电阻）结构，湿度敏感材料作为湿度敏感电阻（湿敏电阻）的湿度敏感材料；所述衬底是具备压电效应的晶体材料。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113588727 B (45)授权公告日 2022.04.05 (21)申请号 202110531383.5 (51)Int.Cl.