自动地选择算法模块来检验样本.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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提供了一种系统，所述系统包括处理器，所述处理器被配置为：获得半导体样本的图像集；(1)针对所述图像集中的图像，从多个算法模块中选择至少一个算法模块MS；(2)将所述图像馈送到MS以获得代表在所述图像中的一个或多个缺陷的数据DMS；(3)获得有关数据DMS的正确性的监督反馈；(4)针对下一图像重复(1)至(3)，直到满足了完成标准为止，其中在(1)处选择的算法模块对于针对所述图像集中的至少两个不同图像来说是不同的；基于所述监督反馈而针对多个所述算法模块中的每一者生成分数；并使用分数以识别一个或多个

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113610747 B (45)授权公告日 2022.08.19 (21)申请号 202110213883.4 (51)Int.Cl.