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本发明公开了一种单晶硅棒生产用拉晶炉,涉及拉晶炉技术领域。该一种单晶硅棒生产用拉晶炉,包括可移动导热装置。该一种单晶硅棒生产用拉晶炉,导热组件下移进热室中,导热锥筒的侧面和导流筒的内壁相适配,导热锥筒紧压导流筒,导热环、导热顶板、导热弧板、导热底板、导热锥筒、导热底盖这些导热组件的温度远低于热室的温度,此时通过固体间的热传导作用、以及热传递效应,热室中大量的热量传递到导热组件上;通过冷却装置,导热杆上与冷却液接触,冷却液升温,升温后的冷却液经间壁式换热器进行降温,降温后的冷却液再次进入冷却盒中,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288655 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310336614.6
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 云南宇泽半导体有限公司
地址 6
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