抗外部光反馈的混合集成外腔半导体激光器.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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抗外部光反馈的混合集成外腔半导体激光器.pdf

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本发明公开一种抗外部光反馈的混合集成外腔半导体激光器，由有源增益放大芯片和无源光子芯片组成，在无源光子芯片的光波导上依次设有波导位相控制区、波导滤波反馈区和波导偏振旋转器，有源增益放大芯片的光波导发出的光耦合到无源光子芯片的光波导中，有源增益放大芯片与无源光子芯片的耦合端面镀有光学抗反射膜，有源增益放大芯片的另一端面镀有光学高反射膜，由波导位相控制区和波导滤波反馈区构成的外腔波导结构具有偏振非对称性，即TE基模和TM基模的有效光折射率不同；外腔半导体激光器产生的激光进入波导偏振旋转器并由其将入射

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116316059 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310297287.8 (22)申请日 2023.03.24 (66)本国优先权数据