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本发明公开了一种铌合金溅射靶材及其制备方法，铌合金溅射靶材中含铌元素40~80份、钛元素20~60份；铌合金溅射靶材的制备方法为：将铌粉、钛粉、活性碳粉在保护气体作用下充分混合均匀得到混合粉末；然后将混合粉末装入胶套内，进行冷等静压成型，得到坯体；之后将坯体装入包套并进行真空除气，对除气后的包套进行热等静压处理，得到烧结坯；将烧结坯在保护气氛下加热，然后热轧、校平、退火，得到铌合金板坯；最后对铌合金板坯进行磨削加工，即得到铌合金溅射靶材。采用该方法生产的铌合金溅射靶材，纯度高，晶粒细小，可以用于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113584366 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 202110807705.4 C22C 1/04 (2006.01)
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