一种化学气相沉积及退火连续制程装置、方法和应用.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.54万字
约 14页
2023-06-26 发布于四川
举报
版权申诉

一种化学气相沉积及退火连续制程装置、方法和应用.pdf

1、本文档共14页，其中可免费阅读13页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及化学气相沉积领域，尤其涉及一种化学气相沉积及退火连续制程装置，其包括：用于进行气相沉积以及退火步骤的反应室、用于向反应室内部输送反应气体的气体阀件模块、用于向外排放反应室内部的制程尾气并调节反应室内部的真空度的压力控制模块以及对压力控制模块输送的制程尾气进行纯化的尾气循环模块。本发明通过在同一设备中同时整合化学气相沉积装置以及退火装置成一体，从而能够大大减少企业购置生产设备的成本，并能够有效缩短钨金属物料的生产时间，增加了生产效率，提升机台利用率，还能够提升生产原物料的利用率，有效节约

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113564558 B (45)授权公告日 2022.03.04 (21)申请号 202110783355.2 C23C 16/56 (2006.01)