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本发明提供了一种制备大规模集成电路用高纯钨粉的混料装置,包括承载台,所述承载台上表面一侧固定有竖杆,所述竖杆上端转动连接有混合箱下表面的一端;所述承载台内设有空腔,所述空腔内安装有液压缸,所述液压缸的活塞杆末端固定有移动板,所述移动板上表面两端均转动连接有斜杆,两个斜杆上端均转动连接在混合箱下表面,且远离所述竖杆;所述混合箱一侧外壁安装有第一搅拌机构,所述混合箱上方设置有第二搅拌机构。本发明通过第一搅拌机构和第二搅拌机构保证原料的混合效果,能够有效提高制备高纯钨粉的制备效率,为后续加工提供充分的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113578150 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110966928.5 B22F 9/22 (2006.01)
(22)申请日 2021.08.
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