一种超高频振动测量装置.pdfVIP

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  • 2023-06-26 发布于四川
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一种超高频振动测量装置涉及激光相干探测技术领域,解决了易造成微纳器件表面损坏、测量频率低问题,该装置包括主从激光器,第一光纤耦合器用于将主激光器发射的激光耦入光纤并分为本振光和信号光,信号光和从激光器发射的激光共同作为光学锁相环系统的输入,光学锁相环系统、第一光纤准直器、偏振棱镜、收发一体镜头和振动目标顺次设置,振动目标的回波信号与本振光共同经第二光纤耦合器传输至平衡光电探测器;平衡光电探测器用于将回波信号和本振光混频形成光电流信号;数字信号处理系统用于根据光电流信号和解相位算法计算目标振动信息

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116295786 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310296203.9 (22)申请日 2023.03.24 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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