一种全电扫离子注入机束流与剂量测控系统.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种全电扫离子注入机束流与剂量测控系统.pdf

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本发明公开了一种全电扫离子注入机束流与剂量测控系统，包括多通道多量程束流采集模块、从CPU单元、SPI接口模块、模拟波形发生电路、数字波形发生电路、IO接口模块、电压频率转换模块和主CPU单元；多通道多量程束流采集模块的输出端经电压频率转换模块与主CPU单元的输入端相连，并经SPI接口模块分别与主CPU单元和从CPU单元的输入端相连，主CPU单元的输出端分别与模拟波形发生电路和数字波形发生电路的输入端相连，从CPU单元的输出端与模拟波形发生电路的输入端相连。本发明具有成本低、实现离子注入期间的剂

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116313712 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310279920.0 (22)申请日 2023.03.21 (71)申请人北京烁科中科信电