碳化硅粉的合成装置及合成方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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碳化硅粉的合成装置及合成方法.pdf

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本发明公开了一种碳化硅粉的合成装置及合成方法，该合成装置包括反应坩埚、反应组件和出料组件，所述反应坩埚限定出反应腔，所述反应坩埚的底部设有出料口；所述反应组件有多个，多个所述反应组件设于所述反应腔内，用于提供反应场所并将反应生成的碳化硅粉输送至所述反应腔的底部；所述出料组件设于所述反应腔内，用于将堆积在所述反应腔底部的碳化硅粉推送至所述出料口；所述反应坩埚侧壁的上部设有供反应气体通入的第一进气口，所述反应坩埚侧壁的下部设有供载气通入的第二进气口；所述反应坩埚的顶部设有出气孔。本发明可降低碳化硅粉

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116272731 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310270183.8 (22)申请日 2023.03.20 (71)申请人江苏集芯半导体硅材料研究院有限