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本发明公开提供一种用于非人灵长类动物脑深部核团双模功能定位和精准电刺激的神经微探针。其由基底层，金属导电层、以及绝缘层构成，所述导电层包括检测位点组以及刺激位点。本发明采用应力相反的双绝缘层同时干法刻蚀硅基底层背面氧化硅材料，平衡不同材料应力的差别，克服了加长版硅微探针的工艺技术难点，解决了非人灵长类动物的硅探针长宽比大导致探针易弯曲以及机械应力小的问题。检测位点通过修饰纳米金属材料和聚合物抗干扰离子膜获取双模信号作为定位标志进行功能定位。检测位点排布于电刺激正极和电刺激负极之间，使刺激范围控制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116271534 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310326745.6
(22)申请日 2023.03.30
(71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院
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