一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法.pdf

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本公开涉及一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法，其中，掩膜组件，包括至少一个掩膜框和设置在所述掩膜框的承载面上的掩膜片；所述掩膜框包括掩膜边框和位于所述掩膜边框围绕区域内的至少一个支撑梁；所述支撑梁的承载面与所述掩膜框的承载面平齐。本公开可以减小掩膜片受重力产生变形的问题，适用于各种尺寸的掩膜片，提高目标基板的对位准确度，提升蒸镀效果。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288148 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310335049.1 (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人季华实验室地址 528200