原创力文档- 1
- 0
- 约1.2万字
- 约 12页
- 2023-06-26 发布于四川
- 举报
本实用新型提供了一种用于晶圆清洗的滚刷组件，包括：辊筒，其表面具有多个均匀分布的出液孔；第一固定件，其配置于所述辊筒的一端并且具有连通所述辊筒的进液口；第二固定件，其配置于所述辊筒的另一端，用于在外部驱动装置的作用下致所述辊筒转动；海绵，其包覆所述辊筒的外表面并形成一体；所述辊筒内还配置有内芯，其表面具有芯孔，使得清洗液经由所述进液口流入所述内芯后，经由所述芯孔匀流后由所述出液孔排出到达所述海绵；所述芯孔沿所述内芯的圆周面上的螺旋线等距分布。本实用新型通过增设内芯可以有效调节清洗液在辊筒内的流速
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219233235 U
(45)授权公告日 2023.06.23
(21)申请号 202223508063.7
(22)申请日 2022.12.28
(73)专利权人 华海清科股份有限公司
地址 3
您可能关注的文档
- 一种金属化装炉用推车.pdf
- 呼吸面罩.pdf
- 一种成品油储罐清洗装置.pdf
- 一种环网箱配套用航插端子测试仪.pdf
- 一种具有冷藏功能的物流集装箱.pdf
- 一种难熔合金板材的真空焊接夹持装置.pdf
- 一种基于物联网的工程监视器.pdf
- 一种货架挂钩结构.pdf
- 一种实腹式冷弯薄壁型钢檩条加固结构.pdf
- 一种硫酸生产泄漏保护装置.pdf
- DB65∕T 5119-2026 养老机构老年人休闲娱乐服务指南.docx
- T∕CADPA 7.5-2020 网络游戏术语 第5部分：电子竞技.docx
- DB65T 5123-2026 干旱区矿山植被群落重建 霸王栽培技术规程.pdf
- TGXAS 1445-2026 靖西大麻鸭规范.pdf
- T_HNNMIA 10—2022 矿山尾矿调查技术规范.pdf
- T∕CAPDA 045-2022 1.4％复硝酚钠可溶液剂.docx
- T∕CAPDA 007-2020 农药经营行为规范.docx
- T∕ACEF 185-2025 表面活性剂中31种全氟和多氟烷基化合物 （PFAS）和总可氧化前驱体（TOP）的测定 液相色谱-三重四极杆质谱法.docx
- T∕CIECCPA 029-2024 废旧锂原电池回收利用技术规范.docx
- T∕CAWAORG 024-2026 社区老年人轻度认知障碍筛查规范.docx
文档评论（0）