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- 2023-06-26 发布于四川
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提供一种感光性树脂组合物，其用于双波长曝光，且赋予优异的曝光灵敏度、密合性和分辨率。一种感光性树脂组合物，其为用于以中心波长低于390nm的第1活性光、和中心波长390nm以上的第2活性光进行曝光而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属双键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，前述感光性树脂组合物对前述第1活性光和前述第2活性光这两者具有感光性，前述(C)光聚合引发剂包含蒽和/或蒽衍生物。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116300314 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310298175.4 G03F 7/20 (2006.01)
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