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本发明公开了一种组合物、及其剥离液和在其在剥离光刻胶或光刻胶残余物中的应用和剥离方法，组合物包含水溶性非质子极性有机溶剂、有机胺化合物、缓蚀剂、二醇醚化合物和润湿剂；缓蚀剂含有式I所示化合物中的至少一种和式II所示化合物中的至少一种；R1、R2独立地选自有机供电子基团、H中的任一种；R1与R2不同时为H；R3、R4独立地选自有机吸电子基团、H中的任一种；R3与R4不同时为H；有机供电子基团选自苯基、羟基、氨基、甲氧基或C1‑5烷基；所述有机吸电子基团选自乙酰基、乙酰胺基、氰基、C1‑3羧基、C1
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113589662 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 202110873777.9 (56)对比文件
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