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本发明公开了一种真空室内朗缪尔探针固定组件,涉及核聚变装置技术领域;探针固定组件,包括探针阵列盘和绝缘安装结构;所述探针阵列盘中部设置有阵列孔台,所述阵列孔台用于穿设对应的探针阵列针体;所述探针阵列盘一端面与所述绝缘安装结构的一端可拆卸连接,所述绝缘安装结构另一端用于与真空室内壁固定连接,能够根据不同实验需求变化探针阵列的布局,降低整体更换探针增加的工作量和经济成本,并提高探针对等离子参数的测量能力。等离子体测量组件,包括探针阵列箱和上述的真空室内朗缪尔探针固定组件;所述探针阵列箱一端设置有探针
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116321648 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310352303.9
(22)申请日 2023.04.04
(71)申请人 核工业西南物理研究院
地址 61
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