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一种硫系玻璃基底上镀制增透膜膜系的制备方法包括步骤：S1，将作为镜片的硫系玻璃基底的陪镀片和产品的表面进行清洁处理；S2，将镜片放入工装夹具，工装夹具挂入真空镀膜机；S3，真空镀膜机启动抽真空，离子源进行清洗；S4，维持前述真空度，在镜片的对应面蒸镀第一Ge膜层；S5，蒸镀第一ZnS膜层；S6，蒸镀第二Ge膜层；S7，蒸镀第二ZnS膜层；S8，蒸镀第三Ge膜层；蒸镀第三ZnS膜层；S10，蒸镀YbF3膜层；S11，蒸镀第四ZnS膜层；S12，取出对应面镀制好的镜片；S13，重复步骤S1至步骤S1
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116282962 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310348614.8
(22)申请日 2023.04.04
(71)申请人 安徽光智科技有限公司
地址 23
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