绑定压合平台及热压绑定装置.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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绑定压合平台及热压绑定装置.pdf

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本发明涉及一种绑定压合平台及热压绑定装置。绑定压合平台包括载料平台；θ轴导向机构，包括安装板与设置在安装板上的θ轴偏转装置与支撑装置，所述θ轴偏转装置用于驱动所述载料平台绕θ轴转动，所述支撑装置用于支撑所述载料平台的底面。通过θ轴导向机构可以对载料平台进行偏转，使得载料平台可以在一定角度内转动，以使得载料平台上所承载的基板位于合适位置。支撑装置可以对载料平台的底面进行支撑，可以有效防止由于载料平台自重过大以及受到的压力过大，从而导致载料平台产生形变而导致的面精度降低的情况发生。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113573565 B (45)授权公告日 2022.02.15 (21)申请号 202111113037.1 (56)对比文件 (22)申请日 2021.09.23