金属遮罩结构、制备遮蔽层的光罩、以及利用光罩制备金属遮罩结构的方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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金属遮罩结构、制备遮蔽层的光罩、以及利用光罩制备金属遮罩结构的方法.pdf

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本发明提出一种金属遮罩结构、制备遮蔽层的光罩、以及利用光罩制备金属遮罩结构的方法。该金属遮罩结构包含板材，且板材至少包含：形成有至少一开槽的图形区；设置于图形区的一侧之非图形区；以及沿着延伸方向延伸而介于图形区与非图形区之间的切割槽。切割槽具有形成于板材之第一表面上的开口、及相对于第一表面凹入的槽内面。所述板材进一步包含沿着延伸方向延伸之至少一肋条结构形成于槽内面上，且该至少一肋条结构不突出开口。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116300300 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310357647.9 (22)申请日 2023.04.06 (30)优先权数据 112102111 2023.