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本发明属于半导体材料科学技术领域，具体涉及一种蓝宝石衬底上大面积六方氮化硼异质外延膜及其制备方法。该技术方案提出一种蓝宝石衬底上直接生长的大面积六方氮化硼外延膜，所述的制备方法采用离子束辅助溅射方法，在生长过程中主辅离子源分别给予高能量的离子溅射，使高能B/N原子跨越其与衬底表面的优势取向能量势垒，与衬底表面形成共价结合，诱导六方氮化硼六角网格平面沿着纵向垂直于衬底表面进行外延，从而获得大面积垂直取向的六方氮化硼外延膜。相比于常见的范德华外延生长方式，本发明外延方式可以有效释放应力，使得六方氮化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288680 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310269252.3
(22)申请日 2023.03.20
(71)申请人 吉林大学
地址 130012
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
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