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本发明公开了一种基于机器学习的半导体设备健康状况实时分析方法，获取多个用户的半导体设备的全生命周期的历史健康基础信息；分析半导体设备的设备状态与振动数据，得到振动数据与各设备状态之间的关系；筛选出历史数据的运行状态数据并进行预处理，创建运行状态的模型是从历史健康基础信息中提取用户的健康信息特征；对运行状态的模型进行时域频率的特征提取，并对提取的特征进行处理得到运行状态的健康参照数据的健康状况实时分析模型；针对健康状况实时分析模型进行基于健康信息特征的训练；基于训练后健康状况的实时分析模型对半导体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116304930 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310322238.5
(22)申请日 2023.03.29
(71)申请人 南京苏芯科技有限
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