一种半导体清洗设备用六轴机械手.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.24万字
约 15页
2023-06-27 发布于四川
举报
版权申诉

一种半导体清洗设备用六轴机械手.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种半导体清洗设备用六轴机械手，设置有支撑底座，所述支撑底座的顶部设置有第一轴；包括：活动板，设置在所述夹持板的内侧，所述夹持板靠近活动板的表面开设有通槽，所述活动板外侧的夹持板内固定有分隔板；阀板，固定在所述引导绳的另一端，所述阀板外侧的夹持板内开设有固定腔；牵引绳，其底部与所述阀板的上端面固定连接，所述连接腔的两侧分别设置有第一出风孔和第二出风孔。该半导体清洗设备用六轴机械手，在对半导体器件收容装置夹持过后，可通过吹风的方式将其内部浮灰吹落，为后续的清洗提供便捷，并且在夹持过程中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113635292 B (45)授权公告日 2021.12.28 (21)申请号 202111199967.3 B25J 19/00 (2006.01)