一种真空镀膜机的真空镀膜方法.pdfVIP

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2023-06-27 发布于四川
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一种真空镀膜机的真空镀膜方法.pdf

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本发明公开了一种真空镀膜机的真空镀膜方法，包括以下步骤：S1、设备的前期准备：S11、提供一种真空镀膜机；S12、阀瓣与阀座密封对冷泵建立真空；S13、基片和靶材放置好；S2对镀膜腔内进行粗抽真空，冷泵自身继续抽真空；S3、粗抽真空结束；S4、阀瓣与阀座分开，利用冷泵继续对镀膜腔再次建立真空；S5、阀瓣与阀座密封；S6、启动蒸发程序；S7、停止工作；S8、破空；S9、将基片从镀膜腔中取出；S10、更换新一批的基片后重复步骤S2至S9。该真空镀膜方法能够减少真空环境形成的时间，提高真空镀膜的效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113621920 B (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202111184204.1 C23C 14/50 (2006.01) (22)申请日