基于棱镜组的像差补偿方法.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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本发明实施例公开了一种基于棱镜组的像差补偿方法。棱镜组包括至少一个目标楔形棱镜和棱镜调节装置;该基于棱镜组的像差补偿方法,包括:获取待测试光学系统的第一像差偏移量;根据第一像差偏移量,确定目标楔形棱镜和目标楔形棱镜放置的目标位置;根据目标位置通过棱镜调节装置调节目标楔形棱镜的位置,以对待测试光学系统的像差进行补偿。本方案可以通过选取待适配的目标楔形棱镜,并将适配的楔形棱镜放置于目标位置,使目标楔形棱镜引入垂轴色差或其它垂轴像差对待测试光学系统的像差进行补偿,以调节待测试光学系统最终成像位置,进而

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116338943 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310159226.5 (22)申请日 2023.02.23 (71)申请人 上海御微半导体技术有限公司 地址

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