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集成流体模块和测试装置.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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集成流体模块和测试装置.pdf

    公开了一种集成测试装置和流体模块，以及制造方法。流体模块包括容纳测试流体的贮存器和控制容器。贮存器将测试流体排放到控制容器，所述控制容器以受控方式将测试流体排放到测试部件。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113650956 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202110818065.7 (51)Int.Cl.

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