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- 2023-06-28 发布于四川
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本公开涉及一种红外探测器及其制备方法，红外探测器包括衬底以及位于衬底上的电极层和热敏层，电极层位于热敏层临近衬底的一侧，电极层与热敏层接触设置；红外探测器包括多个矩阵排列的红外探测器像元，红外探测器像元包括吸收板结构、至少两个微桥柱和至少两个梁结构，吸收板结构通过对应的梁结构连接至对应的微桥柱；热敏层覆盖吸收板结构和梁结构所在区域；其中，构成热敏层的材料包括非晶硅、非晶碳、非晶锗或非晶硅锗中的一种或几种；构成电极层的材料至少包括钛钨合金。通过本公开的技术方案，降低了红外探测器的热响应时间，提高了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113659028 B
(45)授权公告日 2022.07.26
(21)申请号 202110138400.9 H01L 31/0224 (2006.01)
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