衬底内的电耦合沟槽电容器.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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衬底内的电耦合沟槽电容器.pdf

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本文中的实施例涉及针对衬底内的电耦合沟槽电容器的系统、装置或过程。所述衬底可以是诸如玻璃中介层之类的中介层的一部分，其中所述沟槽电容器在附接到所述衬底的表面的一个或多个管芯附近递送高电容密度。所述沟槽电容器的部分可以是所述衬底的表面处的薄膜电容器。所述沟槽从所述衬底的第一侧朝向所述衬底的与第一侧相对的第二侧延伸。可以描述和/或要求保护其他实施例。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344517 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202211464943.0 (22)申请日 2022.11.22 (30)优先权数据