基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法.pdf

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本发明公开了一种基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法，其特征在于，按质量百分比计，由4‑8wt%纤维素衍生物，4‑8wt%活性单体，0.1‑0.5wt%光敏剂及85‑90wt%溶剂构成。由纤维素衍生物作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，并通过空气物镜的方式进行飞秒激光直写加工，而无需使用折射率匹配油，以方便进行大面积激光直写，并节省光刻胶的用量。同时，纤维素衍生物来源广泛，价格便宜，具有优异的生物可降解性，采用的活性单体和光敏剂也均具有生物相容性

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115185160 A (43)申请公布日 2022.10.14 (21)申请号 202211099107.7 (22)申请日 2022.09.09 (71)申请人之江实验室地址 311121 浙