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- 2023-06-28 发布于四川
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本发明提供了一种转移方法及显示装置，所述方法包括：对外延层上的切割道进行部分切割，得到切割后的待转移晶圆；通过第一释放胶将暂态基板固定在待转移晶圆上，去除生长基板；通过第二释放胶将蓝膜固定在待转移晶圆上，去除暂态基板；通过滚轮将蓝膜顶起，使待转移晶圆上的剩余切割道在应力的作用下自动进行裂片。本申请通过对外延层上的切割道进行部分切割，在待转移晶圆之间保留部分区域未切割，在待转移晶圆转移过程中，部分未切割区域可以阻挡溢出的胶材，防止待转移晶圆被胶材包裹，从而提高LED芯片转移成功率；未切割区域提供的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113675079 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202010407747.4 H01L 21/683 (2006.01)
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