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一种自组装纳米二氧化硅磨料及含有该磨料的抛光液和应用.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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一种自组装纳米二氧化硅磨料及含有该磨料的抛光液和应用.pdf

    本发明公开一种自组装纳米二氧化硅的制备方法，包括二氧化硅种子液的合成和二氧化硅种子的生长：将PEO‑PPO‑PEO三嵌段共聚物、含有球形二氧化硅的溶液与含有催化剂的溶液混合；在40℃～60℃再加入含有硅前驱体的溶液，得到溶液A；搅拌反应20～30小时，得到二氧化硅种子液，加热至沸腾，滴入硅酸溶液，反应1～3小时。自组装纳米二氧化硅表面形貌得到了改善，使颗粒与晶片形成多点接触，有利于摩擦化学反应提升移除速率；多点接触可以有效分散载荷，使划痕变浅，并有助于降低划伤概率。用于硬脆材料超精密抛光，通过分

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113652200 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110932219.5 B82Y 30/00 (2011.01)

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